设备产能

120PCS/h（等离子处理60S)

激励电源

双微波电源2000W

真空泵

锐升干泵  SDA50

真空管道

304不锈钢，高强度真空管路

真空腔体材质

铝合金

真空腔体体积

约24L

清洗产品范围

80~280mm×25~90mm（长×宽）平面变形量＜2

料盒尺寸范围

180~290mm×28~93mm×200mm（长×宽×高）

流道数量

同步四流道设计，左进右出。

轨道调节方式

手轮调节

工艺气体

标配氧气、氩气两路工艺气体(可定制）

工艺气体流量

0-300SCCM

冷水机

朕大IC3650